等離子清洗機(jī)，又稱等離子表面處理機(jī)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體達(dá)到傳統(tǒng)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是一種物質(zhì)狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，不屬于普通的固-液-氣三種狀態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使其電離，就變成了等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)利用這些活性成分的特性對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，從而實(shí)現(xiàn)清洗、涂覆等目的。
等離子清洗機(jī)通過(guò)射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無(wú)序等離子體，用等離子體轟擊待清洗產(chǎn)品的表面進(jìn)行表面清洗，從而達(dá)到清洗的目的。表面活化(Surface activation)是指用等離子清洗機(jī)處理過(guò)的物體，它增強(qiáng)表面能、親水性、附著力和附著力。
等離子清洗機(jī)的表面蝕刻通過(guò)材料表面上的反應(yīng)氣體等離子體選擇性地蝕刻。蝕刻后的材料轉(zhuǎn)化為氣相，并通過(guò)真空泵排出。處理后材料的微比表面積增加，親水性好。納米涂層經(jīng)等離子清洗機(jī)處理后，等離子引發(fā)聚合形成納米涂層。各類材料通過(guò)表面涂層，實(shí)現(xiàn)疏水性（疏水）、 親水性（親水）、疏脂性（防脂）、疏油性（防油）。
等離子清洗機(jī)對(duì)懸浮粒子/有機(jī)發(fā)光二極管(TSP/OLED)和懸浮粒子(TSP)的清洗功能:清洗觸摸屏的主要工序，提高OCA/OCR、層壓、ACF、AR/AF鍍膜等工序的附著力/鍍膜力。為了去除氣泡/異物，可以通過(guò)施加各種大氣壓等離子體形式來(lái)處理各種玻璃和薄膜表面而不會(huì)損壞。半導(dǎo)體/發(fā)光二極管使用等離子清洗機(jī)是為了更好地保護(hù)產(chǎn)品，并通過(guò)等離子清洗機(jī)去除表面有機(jī)物和雜質(zhì)，而不損害晶圓表面的性能。
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