等離子清洗機利用等離子在低溫下產(chǎn)生非平衡電子、反應(yīng)離子和自由基的能力。等離子體中的高能反應(yīng)基團轟擊表面，導(dǎo)致濺射、熱蒸發(fā)或光降解。等離子清洗機利用等離子體中各種高能物質(zhì)的活化，完全剝離和去除物體表面吸附的污垢。目前，等離子清洗機主要分為兩類，一類是大氣等離子清洗機，另一類是真空等離子清洗機。
大氣等離子清洗機由等離子發(fā)生器、輸氣管道、等離子噴嘴等部件組成。等離子體發(fā)生器產(chǎn)生的高壓高頻能量在噴嘴鋼管內(nèi)被激活和控制的輝光放電中產(chǎn)生低溫等離子體。等離子體通過壓縮空氣噴射到工件表面。當(dāng)?shù)入x子體遇到待處理物體的表面時，物體會發(fā)生變化和化學(xué)反應(yīng)。表面已清洗干凈，并有碳化氫污染物，如油脂和輔助添加劑等。已經(jīng)被移除。這些基因可以促進各種涂層材料的粘附，并在粘附和涂料應(yīng)用中得到優(yōu)化。在相同的效果下，通過應(yīng)用等離子體處理表面可以獲得非常薄的高壓涂層表面，這有利于粘合、涂覆和印刷。不需要機械和化學(xué)處理等其他強作用部件來增加粘附性。
真空等離子清洗機由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空室、機械等部分組成。真空系統(tǒng)和真空室可根據(jù)客戶的特殊要求定制。采用數(shù)控技術(shù)容易，自動化程度高。采用高精度控制裝置，時間控制精度非常高；正確的等離子清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，保證了表面質(zhì)量。由于清潔是在真空中進行的，因此不會污染環(huán)境，清潔表面不會被第二次污染。
真空等離子清洗機是氣體分子在真空和放電等特殊場合產(chǎn)生的物質(zhì)。用于產(chǎn)生等離子體的等離子體清潔/蝕刻裝置布置在密封容器中。它廣泛應(yīng)用于表面脫脂和清洗的等離子刻蝕、聚四氟乙烯(PTFE)和聚四氟乙烯混合物的刻蝕、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗、等離子電鍍聚合等工藝，因此也應(yīng)用于汽車電子、軍事電子和印刷電路板制造行業(yè)等高精度領(lǐng)域。
真空等離子清洗機通過兩個電極形成電磁場，并使用真空泵達到一定的真空度。隨著氣體變得越來越稀薄，分子間距和分子或郭的自由運動距離變得越來越長。在磁場的作用下，發(fā)生碰撞形成等離子體。與此同時，輝光將會出現(xiàn)。等離子體在電磁場中空間移動，轟擊待處理物體的表面，去除油污和表面氧化物、灰表面有機物和其他化學(xué)物質(zhì)，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。選擇性表面改性可以通過等離子體處理工藝實現(xiàn)。
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