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在線式真空等離子清洗機(jī)的工作原理主要基于等離子體的物理特性。在真空環(huán)境下，通過引入特定的氣體，如氬氣、氧氣或氫氣等，并施加高電壓，使得氣體發(fā)生電離，形成等離子體。等離子體中的活性粒子與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的清洗、刻蝕、鍍膜等功能。