鋁箔涂布前的等離子清洗，是決定涂層附著力的"生死一關(guān)"。參數(shù)設(shè)錯，輕則附著力不達標，重則鋁箔表面被刻蝕出麻點。
?功率：鋁箔屬金屬材質(zhì)，去氧化、清潔推薦?200-400W?，去氧化兼表面粗化（如焊接前焊盤）可上探至?400-600W?。但切忌貪高——功率超過600W，鋁箔表面會過度粗糙化，涂布均勻性反而下降。精密鋁箔件建議控制在?150-300W?。
?氣體選擇：優(yōu)先選用?純Ar氣或Ar/H?混合氣?，利用離子物理轟擊剝離氧化層。H?比例必須?≤10%?，銅鋁箔建議?≤5%?，否則有爆炸風險。嚴禁純O?直接處理，會導致鋁箔過度氧化。
?時間與真空度協(xié)同控制：處理時間控制在?2-5分鐘?，真空度設(shè)在?20-50Pa?為佳。真空度過高，等離子體濃度反而降低；時間過長，金屬表面出現(xiàn)微坑。腔內(nèi)氣壓正常范圍?50-100Pa?，氣體流量建議?80-100sccm?。
?調(diào)參：工藝定氣體，材質(zhì)定功率，敏感度定真空與時間。? 鋁箔涂布不是"越強越好"，而是剛剛好——氧化層從50nm降至1nm，附著力飆升，這才是參數(shù)的終極目標。
