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在線式真空等離子設備-PR-OL05

特點：
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內置4條軌道，可一次處理4片物料， UPH可達240載板/小時；
3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。

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編號	內容	規(guī)格參數(shù)
1	整機規(guī)格	160015002150mm（包含F(xiàn)FU及報警指示燈等）
2	單次處理數(shù)量	4片載板
3	腔體軌道長度	300mm
4	腔體軌道寬度兼容范圍	100-155mm
5	腔體內尺寸	92032065mm
6	設備產能	240載板/小時
7	掃碼	進出掃碼載具二維碼
8	凈化防護	百級FFU凈化過濾系統(tǒng)
特點： 1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污； 2、真空腔內置4條軌道，可一次處理4片物料， UPH可達240載板/小時； 3、所有運動機構均采用成熟運動方案，設備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。用途：IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設計要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運過成,提高了設備自動化水平。