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在線式真空等離子設(shè)備 PR-OL05-LR

特點：
1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內(nèi)置3條軌道，可一次處理3片物料， UPH可達180載板/小時；
3、所有運動機構(gòu)均采用成熟運動方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。

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編號	內(nèi)容	規(guī)格參數(shù)
1	整機規(guī)格	150020002150mm（包含F(xiàn)FU及報警指示燈等）
2	單次處理數(shù)量	3片載板
3	腔體軌道長度	380mm
4	腔體軌道寬度兼容范圍	100-248mm
5	腔體內(nèi)尺寸	97440065mm
6	設(shè)備產(chǎn)能	180載板/小時
7	CT	60秒
8	LOAD&UNLOAD	不具備
9	掃碼	進出掃碼載具二維碼
10	凈化防護	百級FFU凈化過濾系統(tǒng)
特點： 1、進料流水線運動模組采用伺服電機+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污； 2、真空腔內(nèi)置3條軌道，可一次處理3片物料， UPH可達180載板/小時； 3、所有運動機構(gòu)均采用成熟運動方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。用途：IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗在線式真空等離子清洗機自動搬運物料的設(shè)計要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運過成,提高了設(shè)備自動化水平。