在線式真空等離子設(shè)備 PR-OL05-LR
特點(diǎn)：
1、進(jìn)料流水線運(yùn)動(dòng)模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運(yùn)動(dòng)，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內(nèi)置3條軌道，可一次處理3片物料， UPH可達(dá)180載板/小時(shí)；
3、所有運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均采用成熟運(yùn)動(dòng)方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。
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1、進(jìn)料流水線運(yùn)動(dòng)模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運(yùn)動(dòng)，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內(nèi)置3條軌道，可一次處理3片物料， UPH可達(dá)180載板/小時(shí)；
3、所有運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均采用成熟運(yùn)動(dòng)方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。
| 編號(hào) | 內(nèi)容 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|---|
| 1 | 整機(jī)規(guī)格 | 1500*2000*2150mm（包含F(xiàn)FU及報(bào)警指示燈等） |
| 2 | 單次處理數(shù)量 | 3片載板 |
| 3 | 腔體軌道長(zhǎng)度 | 380mm |
| 4 | 腔體軌道寬度兼容范圍 | 100-248mm |
| 5 | 腔體內(nèi)尺寸 | 974*400*65mm |
| 6 | 設(shè)備產(chǎn)能 | 180載板/小時(shí) |
| 7 | CT | 60秒 |
| 8 | LOAD&UNLOAD | 不具備 |
| 9 | 掃碼 | 進(jìn)出掃碼載具二維碼 |
| 10 | 凈化防護(hù) | 百級(jí)FFU凈化過(guò)濾系統(tǒng) |
| 特點(diǎn)： 1、進(jìn)料流水線運(yùn)動(dòng)模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運(yùn)動(dòng)，有效保證精度，降低塵污； 2、真空腔內(nèi)置3條軌道，可一次處理3片物料， UPH可達(dá)180載板/小時(shí)； 3、所有運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)均采用成熟運(yùn)動(dòng)方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。 用 途：IC封裝中引線框架上點(diǎn)膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗 在線式真空等離子清洗機(jī)自動(dòng)搬運(yùn)物料的設(shè)計(jì)要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運(yùn)過(guò)成,提高了設(shè)備自動(dòng)化水平。 |
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