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實驗用真空等離子設(shè)備PR10L

編號	內(nèi)容	規(guī)格參數(shù)
1	機臺整機規(guī)格	650mm(W)×550mm(D)×450mm(H)
2	真空室規(guī)格	進口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm,10L
3	電極板規(guī)格	專用鋁電極 150(L)×150(W)mm
4	真空泵系統(tǒng)	機械旋片真空泵（外置）
5	真空測定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計
6	氣體計量系統(tǒng)	可調(diào)節(jié)浮子流量計
7	氣體路數(shù)	2路進氣，1路放空
8	等離子發(fā)生器	40KHz，高頻發(fā)生源，0-1000W可調(diào)
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持適用于高校實驗室、半導體IC領(lǐng)域，體積較小的產(chǎn)品的表面情急與活化。用途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 1、攝像頭、指紋識別行業(yè)：軟硬結(jié)合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔； 2、半導體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。