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PM120L/PM180L等離子處理機

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編號	內(nèi)容	規(guī)格參數(shù)
1	機臺整機規(guī)格	PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
2	真空室規(guī)格	550(W)×635(H)×535(D)mm
3	電極板規(guī)格	PM120L: 10層平板式電極板（470(W)×410(D)mm）可定制 PM180L: 10層平板式電極板（530(L)×400(W)mm）可定制
4	控制系統(tǒng)	觸摸屏+PLC控制
5	真空測定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計
6	氣體計量系統(tǒng)	精確質(zhì)量流量控制計 MFC
7	氣體路數(shù)	2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等離子發(fā)生器	500W&1KW等離子體發(fā)生源，40KHz（可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。用途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 1、攝像頭、指紋識別行業(yè)：軟硬結(jié)合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔； 2、半導體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。